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第二五三章 PECVD设备(1 / 5)

?鞠躬感谢(稻草人)大大100的打赏。

这两天在忙活公司营业执照年审,所以更新可能有点不正常,还请谅解。

实际上,在前世TFT-LCD液晶面板生产线中应用的CVD技术和设备最多的是PECVD,也就是等离子增强化学气相沉积法,因为无论是常压化学气相沉积法,还是低压化学气相沉积法,在实际应用中的用处都不是很大,这主要是因为后世的TFT-LCD液晶面板所用的玻璃基板大都是碱性玻璃的缘故,因为无论是常压化学气相沉积法还是低压化学气相沉积法,在镀膜的时候都不适用于碱性玻璃,虽说在前几代线的时候还能用得上,但随着技术的不断发展,这两种CVD技术的局限性就凸显了出来,毕竟这两种技术只能单独的针对某一个镀层,因此在后几代线中,这两种CVD技术和设备基本上就用不到了

而等离子增强化学气相沉积法则没有这种局限性,最关键的是,这TFT-LCD液晶面板制程中所需要的四层非金属镀膜,都能够用PECVD来解决,因此在前世,5代线之后的CVD设备,大都是采用PECVD技术而制造的CVD设备了。

当然在目前,除了李想知道这个事情之外,其他的人还并不知道这种事情,因此包括曰本人在内,都认为这三种CVD技术是必不可少的。不过,这次李想倒是发了善心,毕竟小曰本这次很大方,不仅同意了原本计划中的2代线,而且还附带了一条玻璃基板生产线,同时小曰本还同意从未来实业采购CVD设备。最关键的是,据李想所知,小曰本在得到了那三套CVD技术之后,立刻就开始组织相关人员进行技术攻关,试图自己来制造CVD设备,只不过小曰本似乎并不知道PECVD才是最关键的设备,因此他们是三种设备一起研发,导致了整体研发进程的缓慢。

技术是技术,要把技术转化成为真正的产品,并不是那么容易就能做到的。

正是因为如此,李想才难得的发了一次善心,打算直接将PECVD设备卖给

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