“.孔径的EUV光刻机，应该就是下一代EUV光刻机。”
萧鹤身后，一名戴眼镜的男子走过来说道。
他推了推眼镜，虽然语气尽量保持着淡定，但脸部肌肉的抖动可以看出他此刻是多么的亢奋。
大家看他的眼神都带着一种信任，可见他应该是这个领域的专家。
他的名字是钟志明。
钟志明停顿了一下继续说道，“目前的EUV光刻机，孔径是.，生产工艺极限是。”
“如果想继续挑战工艺极限的话，就需要.孔径的EUV光刻机，阿斯麦那边给出的交付时间是明年。”
简单科普了一下，钟志明有些按捺不住的看着萧鹤，“你说系统给了一台.孔径的EUV光刻机？它现在在哪？”
“在附近的一个仓库里，不远。”
钟志明立马转头看向何建军，“何老，我们先过去吧，其他的路上说。”
何建军做了个手势，一辆改装过的大巴车很快来到了门口，总共十人上车前往仓库，其中包括萧鹤，何建军，杨怡宣，钟志明等人。
“系统没有给我们现在正在攻克的其他几个光刻机方向，而是给了EUV光刻机，要么说明硅基时代EUV光刻机可能确实是最好的选择，要么就是因为系统给的技术和产品就是会优先考虑我们现在的技术环境。”
上车后，钟志明跟其他几人讨论起来，这几人应该都是这个领域的专家。
“不管是什么原因，这个结果是好的，如果真的给个太高级的光刻机，其他设备恐怕也都得跟着改。”
“对哦，生产芯片不仅仅只需要光刻机，还需要很多别的高端设备吧？”在一旁的萧鹤忍不住问道。
钟志明点点头，“确实，除了光刻机，还需要刻蚀机、离子注入机、镀膜机、清洗机、显影机等几十种设备。”
“但事实上，除了光刻机以外的其他设备，目前国产已经能做到基本替代了，像我们的刻蚀机，已经达到了以下的水平，最核心