老美那边搞EUV搞得如火如荼，国内却半点“动静”都没，并不是真实情况。
事实上，再老美EUV联盟成立的当月，中科院的几大光机所就联合召开了数次会议，讨论如何实现EUV光源。
毕竟，遇事不决先摸一把鹰酱，这是传统技艺了。
在这方面，中科院诸位那可谓是老手艺人。
讨论的结果自然是不容乐观的。
国内光学技术的扛把子，长光所，为了支持国产光刻机激光光源的发展，几乎是把所有精锐和骨干都拿去支援了赵凯东——甚至赵凯东本身就是国内准分子激光领域的专家，也是亲自引导着激光光源的半导体领域市场化的先行者。
所以，当时尚未企业化的赵凯东团队，便在下一代光源上的发展方向上拥有极大的话语权。
在会上，赵凯东力排众议，认为国内的半导体光源领域要一步一个脚印，现在可以对EUV进行理论上的研究，但最重要的还是需要把眼前的事做好，譬如积极推进Arf光源的市场化，进一步巩固基础，培养人才。
再加上老美那边牵头的阵仗实在太大，国内唯一有资格与之掰一下手腕的远芯又“兴致缺缺”，和赵凯东秉持一个态度……
当然，项虽然没有立，但不表示就真埋起头当鸵鸟了。长光所还是从有限的经费和人员中开展了对EUV理论上的推动，甚至还拉着科研经费逐渐富裕起来的清华成立了联合的小组。
总之就是没钱有没钱的玩法。
当然了，远芯这边没有投入EUV，当时不是远芯没有眼光，反而是因为远芯太有眼光，知道EUV的实现，需要的人力物力财力、以及涉及的设备制造、产业链等一系列因素远不是目前的国内所有能提供得了的。以至于远芯强行按住了冲动，一切只待国内有了一定的话语权之后，再拿出来作为整合中日韩三方半导体巨头的一张王牌。
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东京，远芯霓国分公